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燃燒式Scrubber氣體進入機臺Inlet Buffer之后溫度不足，導致廢氣結晶管路阻塞；且因Powder阻塞，導致氣動閥異常而損壞，無法正常切換，如何改善？
對策：在機臺Inlet Buffer處加裝Hot N2，使Pump至Scrubber管路保持一定溫度，使氣體順利進入Chamber燃燒處理，增長PM周期。